不同结构多层PZT薄膜的制备及性能特性研究

• 作者: 唐力程 熊继军 谭秋林 郑俊华
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: 多层锆钛酸铅/钛酸铅(PT/PZT)薄膜 不同结构 压电材料 溶胶-凝胶法 介电性 铁电性
• 年，卷（期）: 2016,（4）
• 页码范围: 655-658
• 页数: 4页
• 分类号: TN384|TF123|TM282
• 字数: 2956字
• 语种: 中文

摘要

采用相同的工艺分别制备了锆钛酸铅(PZT,r(Zr)/r(Ti)=52/48)与钛酸铅(PT)两种前驱体,并通过溶胶-凝胶(Sol-Gel)法在Pt/Ti/SiO2/Si基底上分别制备了PZT,PT/PZT-PZT/PT,PT/PZT/-/PZT/PT 3种不同结构的多层PZT薄膜.利用场发射扫描电子显微镜(FESEM)测试了薄膜的结构,选用XRD分析了薄膜的结晶取向,采用阻抗分析仪测试了薄膜的介电常数、介电损耗及电压-电容曲线,使用铁电性能测试系统测试了薄膜的铁电性.实验结果表明,PT/PZT/-/PZT/PT结构的薄膜相对于其他两种结构的薄膜具有较高的红外探测率与剩余极化强度及较小的介电损耗,具有强大的应用潜能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	熊继军	中北大学电子测试技术国家重点实验室	111	702	13.0	19.0
5	谭秋林	中北大学电子测试技术国家重点实验室	71	327	10.0	15.0
9	郑俊华	中北大学电子测试技术国家重点实验室	4	2	1.0	1.0
13	唐力程	中北大学电子测试技术国家重点实验室	2	1	1.0	1.0