基于外差干涉的激光超声检测技术

• 作者: 司高潞 张志伟
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 工学
• 关键词: 纳米位移 外差干涉 激光超声 聚焦
• 年，卷（期）: 2016,（1）
• 所属期刊栏目: 电子电路设计分析及应用
• 页码范围: 124-127
• 页数: 4页
• 分类号: TN247
• 字数: 2193字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2016.01.025

摘要

激光超声的震动位移是在纳米级别，所以要检测到微弱的激光超声需要外差干涉系统有较高的灵敏度。为了提高测量精度对光路进行了改进，采用双光路外差干涉仪增强系统抗环境干扰能力，使用3聚焦透镜增强干涉仪的聚光能力，提高进入干涉仪的光通量，从而提高精度；在光电探测器前加滤光片，滤除杂散光，提高系统信噪比。通过高频超声实验验证，该系统的位移分辨率能达到0.1 nm。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张志伟	中北大学信息与通信工程学院	45	153	6.0	8.0
10	司高潞	中北大学信息与通信工程学院	2	5	2.0	2.0