单晶炉副室清理器结构的研究

• 作者: 张永军 王新海 马瑾
• 来源期刊: 煤矿机械
• 学科: 工学
• 关键词: 单晶炉 直拉单晶硅 机械设计 清理器 副室
• 年，卷（期）: 2016,（1）
• 所属期刊栏目: 产品·结构
• 页码范围: 142-143
• 页数: 2页
• 分类号: TH122
• 字数: 1361字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13436/j.mkjx.201601060

摘要

为了提高单晶炉副室清理器的清理效果和适用范围,研究了一种新型单晶炉副室清理器.结合副室的结构特点,分析了现有清理器存在的问题,阐述了清理机理,提出了一种接触面大、直径可变的设计思路,并设计了伞状单晶炉副室清理器的机械结构.结果表明:设计的清理器具有结构简单、适用性强和清理效果好的特点,具有一定的推广价值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王新海		27	23	2.0	3.0
2	张永军		43	57	4.0	5.0
3	马瑾		25	21	3.0	3.0