工业原子力显微镜快速进针系统的设计

• 作者: 初明璋 方光荣 殷伯华 王谦 薛虹 许广路
• 来源期刊: 现代科学仪器
• 学科: 工学
• 关键词: 原子力显微镜 进针控制 激光检测 PC-104控制器
• 年，卷（期）: 2016,（3）
• 所属期刊栏目: 仪器研制与开发
• 页码范围: 29-33
• 分类号: TH742
• 语种: 中文

摘要

为了满足工业原子力显微镜高效检测的要求,提出了一种粗细相结合的自动进针方法.设计了快速的粗进针和慢速的精细进针二级进针控制系统硬件结构.针对工业半导体样品的特点,通过预标定方法保证粗进针动作快速到住.在精细进针阶段采用升降台步进动作和实时闭环检测,当检测到激光信号变化的值超过setpoint值时,完成进针操作.通过实验测试表明该方法有效减少了进针时间,提高了原子力显微镜的进针效率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	方光荣	中国科学院电工研究所北京市生物电磁学重点实验室	32	154	7.0	10.0
2	王谦	中国科学院电工研究所北京市生物电磁学重点实验室	24	325	9.0	18.0
3	殷伯华	中国科学院电工研究所北京市生物电磁学重点实验室	24	94	6.0	8.0
4	初明璋	中国科学院电工研究所北京市生物电磁学重点实验室	15	85	6.0	8.0
5	薛虹	中国科学院电工研究所北京市生物电磁学重点实验室	18	30	3.0	4.0
6	许广路	中国科学院电工研究所北京市生物电磁学重点实验室	1	0	0.0	0.0