Ni含量对CrNiTiN涂层微观结构及摩擦磨损性能的影响

• 作者: 周旺民 安腾 金杰 马君杰
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 非平衡磁控溅射 CrNiTiN涂层 Ni含量 微观结构 摩擦磨损
• 年，卷（期）: 2016,（10）
• 所属期刊栏目: 结构薄膜
• 页码范围: 1099-1106
• 分类号: TG174
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2016.10.03

摘要

采用闭合场非平衡磁控溅射离子镀技术在H13钢和单晶Si(110)表面沉积CrNiTiN四元硬质涂层.通过改变Ni靶电流大小来改变CrNiTiN涂层中Ni的含量.利用扫描电镜、X射线衍射能谱、X射线光电子谱、摩擦磨损实验、纳米压痕测试等技术研究Ni含量对涂层成分、结构及摩擦磨损性能的影响.结果表明:CrNiTiN涂层结构致密,以柱状晶方式生长;Ni在涂层中以单质及化合物形式存在;随着Ni的加入及其含量的增加,涂层平均晶粒尺寸从29减小到14 nm,涂层择优取向由(220)面转向(200)面,硬度及弹性模量先增加后减小,平均摩擦系数及磨损率先减小后增加;当Ni含量为4.21％(原子比)时,硬度最高为22.4 GPa,平均摩擦系数最小为0.52,磨损率最小为1.4×10-15 m3/Nm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周旺民	浙江工业大学材料科学与工程学院	10	41	4.0	6.0
2	金杰	浙江工业大学材料科学与工程学院	27	170	6.0	12.0
3	马君杰	浙江工业大学材料科学与工程学院	2	1	1.0	1.0
4	安腾	中国石油大学理学院	1	0	0.0	0.0