Si含量对VSiN涂层的结构、力学性能和摩擦磨损性能影响

• 作者: 叶福兴 米鹏博 赵洪舰
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 磁控溅射 VSiN涂层 微结构 力学性能 摩擦性能
• 年，卷（期）: 2016,（10）
• 所属期刊栏目: 结构薄膜
• 页码范围: 1107-1111
• 分类号: TG174.44
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2016.10.04

摘要

采用JGP-450A2磁控溅射仪制备了一系列不同Si含量(≤20％(原子比))的VSiN涂层.利用结构和性能测试仪器对VSiN涂层的微结构、力学性能和摩擦磨损性能进行了表征.结果表明:VSiN涂层的相组成为面心立方的VN相、V2N相和非晶氮化硅相,呈(111)择优生长.随着溅射后Si含量增加,VSiN涂层的硬度先升高后降低,含有10.2％ Si含量的涂层硬度最大,约为27 GPa.室温环境摩擦时,随着溅射后Si含量增加,摩擦系数和磨损率均呈现先减小后增大趋势.摩擦系数和磨损率最小值均在硬度最大处获得,分别为0.35和5.2×10-6mm3/N ·mm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	叶福兴	天津大学材料科学与工程学院	30	133	5.0	11.0
5	赵洪舰	天津大学材料科学与工程学院	3	2	1.0	1.0
9	米鹏博	天津大学材料科学与工程学院	1	0	0.0	0.0