超大数值孔径光刻机投影物镜波像差检测方法

• 作者: 李思坤 段立峰 沈丽娜 王向朝 诸波尔 闫观勇
• 来源期刊: 光学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 测量 光刻 波像差检测 超大数值孔径 空间像 主成分分析
• 年，卷（期）: 2016,（1）
• 所属期刊栏目: 仪器,测量与计量
• 页码范围: 129-139
• 页数: 11页
• 分类号: TN305.7
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/AOS201636.0112002

摘要

提出了一种基于空间像主成分分析的超大数值孔径光刻机投影物镜波像差检测方法.通过采用偏振光照明和矢量光刻成像模型并考虑投影物镜的偏振像差,准确表征了超大数值孔径光刻机的空间像,从而提高了像差检测模型的精度,实现了超大数值孔径光刻机投影物镜33项泽尼克像差(Z5～Z37)的高精度检测.相比于原基于空间像主成分分析的投影物镜成像差检测技术(AMAI-PCA)方法,所提方法适用于超大数值孔径光刻机投影物镜波像差检测.采用光刻仿真软件PROLITH对所提方法的检测精度进行了仿真验证,并分析了空间像采样间隔对波像差检测精度的影响.仿真结果表明,该方法对泽尼克像差(Z5～Z37)的检测精度优于0.85×10-3λ.