SF6/N2和SF6/CF4混合气体放电参数计算分析

• 作者: 徐建源 李璐维 林莘 陈会利
• 来源期刊: 高压电器
• 关键词: Boltzmann方程 电子能量分布函数(EEDF) 折合电离系数α/N,折合吸附系数η/N
• 年，卷（期）: 2016,（12）
• 所属期刊栏目: 研究与分析
• 页码范围: 60-65
• 页数: 6页
• 语种: 中文
• DOI: 10.13296/j.1001-1609.hva.2016.12.009

摘要

为研究SF6混合气体的放电参数特性,文中通过两项近似求解Boltzmann方程得到温度为300 K,不同混合比下SF6/N2、SF6/CF4的电子能量分布函数(EEDF)、折合电离系数α/N、折合吸附系数η/N和折合有效电离系数(α-η)/N,与其他文献结果对比,验证了该计算方法与放电参数的有效性.结果表明:SF6/N2、SF6/CF4两种混合气体都随折合场强E/N增大时,在较低电子能量区域的EEDF减小而在较高电子能量区域的EEDF增大,且SF6/N2混合气体在电子能量为3 eV附近存在EEDF的骤降现象,该现象与N2的碰撞参数截面有关,而SF6/CF4混合气体不存在此现象;此外,SF6/N2、SF6/CF4两种混合气体随着折合场强E/N增大,折合电离系数α/N显著增大、折合吸附系数η/N减小,最终折合有效电离反应系数(α-η)/N也均随之增加.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐建源		179	2413	26.0	39.0
2	林莘		194	2544	28.0	41.0
3	李璐维		7	0	0.0	0.0
4	陈会利		6	0	0.0	0.0