高精度深紫外光学透射率测量装置的研制

• 作者: 杨宝喜 谢承科 陈明 黄惠杰
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 物理光学 深紫外 透射率测量 双路对比 重复性 高精度
• 年，卷（期）: 2016,（3）
• 所属期刊栏目: 测量与计量
• 页码范围: 169-175
• 页数: 7页
• 分类号: TH741|TN23|TH247
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201643.0308002

摘要

为了精确控制曝光剂量,需要精确测量光刻系统的光学透射率.采用了双光路对比的方法进行透射率测量,有效地消除了准分子激光器能量波动带来的透射率测量误差.并通过加入起偏器,消除了准分子激光器偏振态不稳定带来的误差.搭建了深紫外光学透射率测量装置,对1片可计算透射率的光学样品进行透射率测量,其测量结果与透射率理论计算结果基本一致.测量结果显示,该装置的测量重复性可达到0.3％.通过分光光度计对该光学样品进行测量,通过结果对比,该装置的测量结果与分光光度计的测量结果相差0.28％.另外,该装置应用灵活,可以测量光学系统的透射率,具有不受待测光学样品尺寸影响的优点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈明	中国科学院上海光学精密机械研究所	53	296	7.0	16.0
2	黄惠杰	中国科学院上海光学精密机械研究所	69	544	13.0	23.0
3	杨宝喜	中国科学院上海光学精密机械研究所	17	1	1.0	1.0
4	谢承科	中国科学院上海光学精密机械研究所	4	1	1.0	1.0