结构光检测大型止推环止推面平面度探究

• 作者: 何文彦 匡龙 张鹏 曹学东
• 来源期刊: 光电工程
• 学科: 工学
• 关键词: 大面型 平面度 面采样 线结构光
• 年，卷（期）: 2016,（11）
• 所属期刊栏目: 光电测量与检测
• 页码范围: 7-12
• 页数: 6页
• 分类号: TN247
• 字数: 2892字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-501X.2016.11.002

摘要

为指导高精度大型止推面加工,需要对其平面度进行面采样测试.本文建立了结构光检测模型:激光器投射平行条纹到被测表面,CCD相机接收包含条纹的图像.被测面理想的情况下,CCD相机接收到直条纹;当被测面存在凹凸时,条纹发生扭曲,扭曲量和高度存在比例关系.论文推导了结构光检测一体式装置的数学模型,分析了入射角对测量精度的影响.实验结果表明,入射角越大,系统分辨力越高;当入射角度继续增大时,检测精度有望达到要求,然而图像畸变严重,处理困难.论文提出改进分体式检测装置,CCD相机固定在待测面正上方,线激光阵列以相同角度入射.在入射角为85°时,对400 mm×400 mm的平面检测时,采用4096 pixel×4096 pixel的CCD,借助亚像素技术,结构光检测系统分辨力可以达到亚微米级别.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张鹏	中国科学院光电技术研究所	220	1605	21.0	32.0
2	曹学东	中国科学院光电技术研究所	23	250	9.0	15.0
3	匡龙	中国科学院光电技术研究所	5	48	4.0	5.0
4	何文彦	中国科学院光电技术研究所	3	4	1.0	2.0