水射流激光复合刻蚀陶瓷的研究

• 作者: 袁根福 谢兵兵
• 来源期刊: 激光技术
• 学科: 工学
• 关键词: 激光技术 复合刻蚀 SiC复相陶瓷 Al2 O3 陶瓷 水射流
• 年，卷（期）: 2016,（5）
• 所属期刊栏目: 激光与光电子技术应用
• 页码范围: 762-766
• 页数: 5页
• 分类号: TN249
• 字数: 3656字
• 语种: 中文
• DOI: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2016.05.030

摘要

为了改善激光直接刻蚀过程中形貌普遍较差的问题，采用水射流激光复合刻蚀的方法，以SiC复相陶瓷和Al2 O3陶瓷为研究材料，分析了有无水射流条件下的形貌差异以及不同成分陶瓷的形貌差异，并在此基础上研究了水射流流速对刻蚀深度和蚀除量的影响。结果表明，直接刻蚀时，大量熔渣附于刻蚀表面，刻蚀形貌较差，SiC复相陶瓷60％以上直接气化分解，熔渣较少，形貌稍好于Al2 O3陶瓷；复合刻蚀时，刻蚀形貌有所变好，且水射流流速在24m／s时的形貌要好于16 m／s时的；水射流流速越大，材料的刻蚀深度和蚀除量越小，流速每增大2 m／s时，材料的蚀除量平均减少0．066mm3左右，相同流速下，SiC复相陶瓷的蚀除量比Al2 O3陶瓷大0．4mm3左右。此研究对提高刻蚀形貌和分析不同陶瓷的刻蚀机理是有帮助的。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	袁根福	江南大学机械工程学院	20	41	4.0	6.0
2	谢兵兵	江南大学机械工程学院	3	0	0.0	0.0