基于振动的微尺度对象操作实验研究

• 作者: 徐刚 李嘉 苗淑静 郭志平 郭浩
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械系统(MEMS) 微尺度对象 真空吸附 振动控制 释放精度
• 年，卷（期）: 2016,（3）
• 所属期刊栏目: MEMS与传感器
• 页码范围: 177-182
• 分类号: TB534.2|TH703
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2016.03.007

摘要

针对真空吸附释放微尺度对象困难的问题,采用真空吸附拾取与基底施加振动的双作用方法来释放微尺度对象,以达到提高释放成功率和释放精度的目的.由理论分析可知,微尺度对象成功释放与摩擦力和黏着力有关.通过实验研究发现:当振动输入信号的频率增加时,振动释放的成功率变化不大,而其释放精度增加;当振动输入信号的幅值增加时,振动释放的成功率增加,释放精度也相应提高;当微尺度对象的直径减小时,振动释放的成功率降低,释放精度也相应降低.从而证明,振动输入信号的频率、幅值以及微尺度对象尺寸的变化与振动释放的成功率和精度密切相关.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李嘉	内蒙古工业大学机械学院	11	5	1.0	1.0
2	郭志平	内蒙古工业大学机械学院	83	233	8.0	12.0
3	苗淑静	内蒙古工业大学机械学院	9	12	2.0	3.0
4	徐刚	内蒙古工业大学机械学院	11	20	3.0	4.0
5	郭浩	苏州大学机器人与微系统研究中心	10	6	2.0	2.0