PG15-J4型激光平面干涉仪的数字化改造

• 作者: 沈磊 蒲琴 谈冬兴
• 来源期刊: 计量技术
• 关键词: 等厚干涉仪 平面度 干涉条纹 图像处理
• 年，卷（期）: 2016,（8）
• 页码范围: 30-32
• 页数: 3页
• 字数: 1731字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-0771.2016.08.09

摘要

本文研究对中国科学院上海光学精密机械研究所生产的PG15-J4型激光平面干涉仪进行数字化改造，通过加装CCD相机，将干涉图像采集到计算机中，然后对采集到的图像进行滤波、细化等处理，并按照JJG 28—2000《平晶检定规程》对图像处理后得到的条纹进行计算，得到被测平晶的平面度。经实验验证，改造后的干涉仪满足了对?150mm以下的一、二级平晶的检定要求，适用于计量部门对平晶进行检定。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谈冬兴		11	6	1.0	2.0
2	沈磊		6	32	4.0	5.0
3	蒲琴		3	1	1.0	1.0