轴承滚珠面型误差激光干涉测量系统的研究

• 作者: 令锋超 刘志刚 朱永生 洪军 郝维娜
• 来源期刊: 西安交通大学学报
• 关键词: 相移干涉 轴承滚珠 波面拟合 调整误差
• 年，卷（期）: 2016,（6）
• 页码范围: 83-89
• 页数: 7页
• 分类号: TH741
• 语种: 中文
• DOI: 10.7652/xjtuxb201606013

摘要

在以激光干涉方法进行轴承滚珠面型误差测量时,为避免特制参考标准球面镜自身球度误差对测量结果的影响,提出了一种以平面镜代替球面镜的泰曼-格林轴承滚珠面形误差干涉测量方法,并设计了相应的测量系统.该方法基于相移干涉原理,通过计算机控制压电晶体使参考平面镜获得固定步数的位移,以获得多幅干涉图像,使用电荷耦合图像传感器(CCD)对得到的干涉图像进行采集,系统对获取图像进行相位提取解包裹运算以得到球面的面型误差.对于测量中由轴承滚珠定位精度而引起的离焦、倾焦调整误差,采用泽尼克多项式波面拟合的方法来消除其对测量结果的影响.实验表明,该系统的测量结果与ZYGO干涉仪所得到的结果相比较,峰峰值相差0.001 6λ,均方根误差相差0.004λ,能够有效地对轴承滚珠面型进行检测,且测量结果具有较高的可靠性.此外,该方法还可进一步推广应用于其他需要进行圆球度测量的领域,具有广泛应用前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	洪军	西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室	177	2045	25.0	34.0
2	刘志刚	西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室	192	1577	20.0	29.0
3	朱永生	西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室	65	973	17.0	30.0
4	令锋超	西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室	2	13	2.0	2.0
5	郝维娜	西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室	2	4	1.0	2.0