激光阶梯刻蚀法制备45°微反射镜及垂直耦合研究

• 作者: 宋志强 庞拂飞 王廷云 王建辉 邓传鲁
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 激光技术 光波导 45°微反射镜 激光阶梯刻蚀法 垂直耦合
• 年，卷（期）: 2016,（11）
• 所属期刊栏目: 激光物理
• 页码范围: 20-25
• 页数: 6页
• 分类号: TN252
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201643.1101003

摘要

提出了一种基于准分子激光制备45°微反射镜的新方法——激光阶梯刻蚀法,介绍了该方法的工艺流程.通过优化参数制备了微反射镜样品,详细分析了样品参数对微镜反射性能的影响.利用微反射镜样品进行垂直耦合实验,深入讨论了影响系统损耗的主要因素.实验结果表明,微反射镜样品造成的损耗约为3.5 dB.该制备方法有望在大尺寸光波导互连背板耦合器件的研制中得到广泛应用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	庞拂飞		29	70	5.0	8.0
2	王廷云		39	232	9.0	14.0
3	邓传鲁		4	0	0.0	0.0
4	宋志强		2	0	0.0	0.0
5	王建辉		2	0	0.0	0.0