140 GHz空腔滤波器设计及加工工艺研究

• 作者: 甯彪 缪旻
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 工学
• 关键词: 滤波器 空腔 毫米波 太赫兹 全波仿真 电火花微加工
• 年，卷（期）: 2016,（1）
• 所属期刊栏目: 固态电子器件及材料
• 页码范围: 21-25
• 页数: 5页
• 分类号: TN713.5
• 字数: 2287字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2016.01.005

摘要

设计并实现了一种采用进口电火花技术加工的D波段电感膜片耦合的矩形波导空腔滤波器。采用等效电路法设计了一个140 GHz矩形空腔带通滤波器。采用有限元仿真软件HFSS分析了腔体个数对滤波器主要性能的影响，最终成功设计了一个性能优良的四阶空腔滤波器，中心频率（140±3）GHz，带内插入损耗S21在-3 dB以内，回波损耗S11在-20 dB以下。采用电火花微加工技术成功加工出了四阶滤波器的主体部分，相应完成了结构键合等关键工艺，首次制作了基于电火花技术的D波段矩形波导空腔滤波器。测试结果为中心频率（138.5±3）GHz，带内插入损耗最好达到了-4.4 dB。结果表明滤波器在140 GHz具有带通特性和滤波功能，尽管与理论上的-3 dB有差异，但考虑到加工误差、夹具损耗等情况下，样品主要技术指标与设计值较为一致。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	甯彪	北京信息科技大学信息微系统研究所	2	3	1.0	1.0