接触式扫描过程中探针-样品赫兹耦合的建模与分析

• 作者: 许斌 赵世平 陈伟
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 接触式扫描 赫兹理论 测量力 测球半径 测量误差
• 年，卷（期）: 2016,（3）
• 所属期刊栏目: 研究与探讨
• 页码范围: 12-15
• 页数: 4页
• 分类号: TH711
• 字数: 1597字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13873/J.1000-9787(2016)03-0012-04

摘要

随着微器件测量系统中微测头尺寸不断减小和测量精度不断提高,微纳测量中测头-样品间的形变误差对系统不确定度的影响是不能忽略的.为了研究二者间的相互作用和形变问题,根据材料应力-应变属性和赫兹理论,建立了微测球与样品的接触模型,并以玻璃测头和光学器件为分析对象,探讨了测量力、测球半径、样品曲率半径以及不同材质样品等对形变、形变区域半宽长度及最大赫兹应力的影响.结果表明:测球半径与样品曲率半径的作用机理相似,而且相较于探针测球半径因素,测量力和被测样品不同曲率半径因素对探针-样品间形变的影响更为显著.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵世平	四川大学制造科学与工程学院	60	339	10.0	15.0
2	陈伟	四川大学制造科学与工程学院	80	285	9.0	13.0
3	许斌	四川大学制造科学与工程学院	7	7	1.0	2.0