SiO2/Si衬底上Au纳米颗粒制备的研究

• 作者: 王尘 许怡红 赖淑妹 陈松岩 韩响
• 来源期刊: 厦门大学学报（自然科学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: Au纳米颗粒 射频磁控溅射 快速热退火
• 年，卷（期）: 2016,（6）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 881-887
• 页数: 7页
• 分类号: O484.1
• 字数: 3396字
• 语种: 中文
• DOI: 10.6043/j.issn.0438-0479.201601001

摘要

采用射频磁控溅射结合快速热退火的方法在 SiO2/Si 衬底上制备 Au 纳米颗粒,研究了溅射条件、退火温度对Au纳米颗粒的尺寸及其分布的影响.结果表明,对于溅射后呈现分立且尺寸较小的 Au纳米颗粒样品,其具有较好的热稳定性,而对于溅射后 Au近似成膜的样品,Au颗粒随着退火温度的升高先减小后增大再减小,认为这是由于退火过程中存在着应力释放与表面能最小化2种竞争机制共同作用的结果；通过降低溅射功率,最终制备得到高密度(1.1×1012 cm-2)、小尺寸(<5 nm)的 Au纳米颗粒,并有望在金属纳米晶半导体存储器中得到应用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈松岩	厦门大学物理科学与技术学院	68	248	8.0	12.0
2	许怡红	厦门大学物理科学与技术学院	2	1	1.0	1.0
3	王尘	厦门理工学院光电与通信工程学院	4	3	1.0	1.0
4	韩响	厦门大学物理科学与技术学院	6	32	3.0	5.0
5	赖淑妹	厦门大学物理科学与技术学院	2	1	1.0	1.0