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摘要:
采用射频磁控溅射法在Si(111)衬底上制备多组分掺杂ZnO薄膜,研究了衬底温度和氧分压对Bi、Cr、Sb、Mn和Co掺杂ZnO薄膜的晶体结构、表面形貌及电学性能的影响.结果表明:随着衬底温度的升高,ZnO(002)衍射峰相对强度先增强后减弱;薄膜表面粗裢度先减小后增大.随着氧分压的增大,ZnO的(101)、(102)和(103)衍射峰消失,薄膜呈优异的(002)择优取向生长.在衬底温度为300℃、氧分压为50%时,Bi、Cr、Sb、Mn和Co所引起的缺陷和氧过剩引起的本征缺陷,共同形成受主态的复合缺陷,导致晶界势垒激增.此时,薄膜有最优化的压敏电压、非线性常数和漏电流,分别达到7.05V、20.83和0.58μA/mm2.
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光电性能
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 多组分掺杂ZnO薄膜的微观结构及电学性能研究
来源期刊 化工新型材料 学科
关键词 ZnO薄膜 多组分掺杂 射频磁控溅射 衬底温度 氧分压 电学性质
年,卷(期) 2016,(2) 所属期刊栏目 科学研究
研究方向 页码范围 145-147
页数 3页 分类号
字数 语种 中文
DOI
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 花银群 66 512 13.0 20.0
2 刘伟 79 528 12.0 19.0
3 季平 3 0 0.0 0.0
4 赵杉月 3 0 0.0 0.0
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研究主题发展历程
节点文献
ZnO薄膜
多组分掺杂
射频磁控溅射
衬底温度
氧分压
电学性质
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
化工新型材料
月刊
1006-3536
11-2357/TQ
大16开
北京安定门外小关街53号
82-816
1973
chi
出版文献量(篇)
12024
总下载数(次)
55
总被引数(次)
58321
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:the National Natural Science Foundation of China
官方网址:http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:数理科学
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