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多组分掺杂ZnO薄膜的微观结构及电学性能研究
多组分掺杂ZnO薄膜的微观结构及电学性能研究
作者:
刘伟
季平
花银群
赵杉月
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
ZnO薄膜
多组分掺杂
射频磁控溅射
衬底温度
氧分压
电学性质
摘要:
采用射频磁控溅射法在Si(111)衬底上制备多组分掺杂ZnO薄膜,研究了衬底温度和氧分压对Bi、Cr、Sb、Mn和Co掺杂ZnO薄膜的晶体结构、表面形貌及电学性能的影响.结果表明:随着衬底温度的升高,ZnO(002)衍射峰相对强度先增强后减弱;薄膜表面粗裢度先减小后增大.随着氧分压的增大,ZnO的(101)、(102)和(103)衍射峰消失,薄膜呈优异的(002)择优取向生长.在衬底温度为300℃、氧分压为50%时,Bi、Cr、Sb、Mn和Co所引起的缺陷和氧过剩引起的本征缺陷,共同形成受主态的复合缺陷,导致晶界势垒激增.此时,薄膜有最优化的压敏电压、非线性常数和漏电流,分别达到7.05V、20.83和0.58μA/mm2.
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文献信息
篇名
多组分掺杂ZnO薄膜的微观结构及电学性能研究
来源期刊
化工新型材料
学科
关键词
ZnO薄膜
多组分掺杂
射频磁控溅射
衬底温度
氧分压
电学性质
年,卷(期)
2016,(2)
所属期刊栏目
科学研究
研究方向
页码范围
145-147
页数
3页
分类号
字数
语种
中文
DOI
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花银群
66
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13.0
20.0
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刘伟
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节点文献
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多组分掺杂
射频磁控溅射
衬底温度
氧分压
电学性质
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
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期刊影响力
化工新型材料
主办单位:
中国化工信息中心
出版周期:
月刊
ISSN:
1006-3536
CN:
11-2357/TQ
开本:
大16开
出版地:
北京安定门外小关街53号
邮发代号:
82-816
创刊时间:
1973
语种:
chi
出版文献量(篇)
12024
总下载数(次)
55
总被引数(次)
58321
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:
the National Natural Science Foundation of China
官方网址:
http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:
青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:
数理科学
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