涡轮分子泵抽气性能计算的误差分析

• 作者: 巴德纯 张磊 王晓冬 蒋婷婷 陶继忠
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 涡轮分子泵 传输几率 数据回归 抽气性能 误差分析
• 年，卷（期）: 2016,（4）
• 所属期刊栏目: 真空技术与理论
• 页码范围: 432-435
• 分类号: TB752+.27
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2016.04.10

摘要

采用数据回归方法,建立了不同叶片倾角、节弦比条件下单级涡轮叶片正反向传输几率与速度比的数学关系式,通过计算机编程可直接获得单级涡轮叶片的正反向传输几率,进而求出涡轮叶片的抽气性能,提高了计算效率.分别采用涡轮叶片几何中值参数计算方法、沿涡轮叶片齿长逐段积分方法,对单级涡轮叶片和涡轮分子泵的抽气性能进行了计算,并与实验结果进行了对比.发现:采用涡轮叶片几何中值参数计算涡轮叶片抽气性能存在误差,对涡轮分子泵抽气性能的计算值偏高,其计算误差远大于分段积分法的计算误差,后者更适用于对分子泵抽气性能的设计计算.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王晓冬	东北大学机械工程与自动化学院	64	366	10.0	15.0
2	巴德纯	东北大学机械工程与自动化学院	250	1491	18.0	22.0
3	张磊	东北大学机械工程与自动化学院	39	384	10.0	18.0
4	陶继忠	中国工程物理研究院机械制造工艺研究所	44	285	9.0	14.0
5	蒋婷婷	东北大学机械工程与自动化学院	1	5	1.0	1.0