基于ZnO/PI结构的柔性SAW器件有限元仿真研究

• 作者: 王德苗 赵欣茹 金浩
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: 柔性衬底 声表面波器件 有限元法 聚酰亚胺 ZnO厚度
• 年，卷（期）: 2016,（4）
• 页码范围: 535-538
• 页数: 4页
• 分类号: TN65|TN384
• 字数: 2645字
• 语种: 中文

摘要

柔性电子的发展使微机电系统对柔韧性和延展性的需求日益增加,我们提出了一种基于ZnO和聚酰亚胺叠层结构的声表面波(SAW)器件.该文采用COMSOL软件对该结构的SAW器件进行二维有限元仿真分析,得到了器件阻抗随频率变化的特性,以及直观的谐振频率下粒子位移特性,并分析了不同ZnO厚度对瑞利波的频率和相速度的影响.为验证仿真的准确性,我们采用磁控溅射工艺和紫外光刻机制备了三组柔性SAW器件,其波长均为16μm,ZnO厚分别为1.2μm、2.3μm和4 μm,器件的实测结果与仿真数据进行了比较.结果表明,制备的SAW器件特性与仿真结果具有很好的一致性,且仿真和实验都验证了随着ZnO厚度的增加,等效声速和谐振频率增大的结论.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王德苗	浙江大学信息与电子工程学院	66	789	15.0	24.0
2	金浩	浙江大学信息与电子工程学院	27	227	10.0	14.0
3	赵欣茹	浙江大学信息与电子工程学院	1	4	1.0	1.0