基于AZO/VO2/AZO结构的电压诱导相变红外光调制器?

• 作者: 伍征义 刘志敏 张娇 徐婷婷 方宝英 李毅 王晓华 肖寒 蒋蔚 陈培祖
• 来源期刊: 物理学报
• 关键词: AZO/VO2/AZO 光透过率 相变 阈值电压
• 年，卷（期）: 2016,（24）
• 所属期刊栏目: 物理学交叉学科及有关科学技术领域
• 页码范围: 248102-1-248102-9
• 页数: 1页
• 语种: 中文
• DOI: 10.7498/aps.65.248102

摘要

采用直流磁控溅射和后退火工艺先在掺Al氧化锌(AZO)导电玻璃基底上制备了高质量的VO2薄膜，再在VO2膜层上制备AZO导电膜，最终制备出了AZO/VO2/AZO三明治结构。测试了VO2/AZO复合薄膜和AZO/VO2/AZO三明治结构的组分、微结构以及光学特性，结果表明VO2/AZO复合薄膜在800—2300 nm红外区域其相变前后的最大透过率差值达24%，而AZO/VO2/AZO三明治结构在相同波长范围内其相变前后的最大透过率差值可达31%。通过在AZO/VO2/AZO三明治结构导电膜层上施加不同电压，观察到不同外界温度下电流的突变，当外界温度越高，所需阈值电压越低。 AZO/VO2/AZO三明治结构性能稳定，制备工艺简单，有望应用于集成式红外光调制器。