PT种子层对PZT薄膜结晶及压电性能的影响

• 作者: 余远根 姜涛 李磊 王现英 祝元坤 郑学军
• 来源期刊: 电子科技
• 学科: 工学
• 关键词: 溶胶-凝胶法 PZT薄膜 退火温度 钙钛矿结构 PT种子层 压电系数
• 年，卷（期）: 2016,（4）
• 所属期刊栏目: 光电·材料
• 页码范围: 1-5
• 页数: 5页
• 分类号: TN305|TM223
• 字数: 3014字
• 语种: 中文
• DOI: 10.16180/j.cnki.issn1007-7820.2016.04.001

摘要

采用溶胶-凝胶法(Sol-Gel)在Pt/Si衬底上制备了PbTiO3 (PT)薄膜和Pb(Zrx,Ti1-x)O3 (PZT)薄膜,研究了退火温度以及PT种子层对PZT薄膜结晶及压电性能的影响.X射线衍射(XRD)结果表明,制备的PZT薄膜为纯钙钛矿结构的多晶薄膜,有PT种子层的PZT薄膜晶粒尺寸更大,(110)面取向度更高,结晶性能更好;原子力显微镜(AFM)结果表明,制备的薄膜表面形貌比较平整、均匀、无裂纹;压电力显微镜(PFM)结果表明,压电力显微镜(PFM)结果表明,有PT种子层时,PZT薄膜的平均压电系数d33为128 ～237 pm/V,无PT种子层时平均压电系数d33为21～29 pm/V.在升温速率为10℃/s的退火条件下保温10 min时,随着退火温度的升高,PZT薄膜晶粒尺寸增大,粗糙度增大,(110)面取向度升高,平均压电系数d33增大.PT种子层能够有效的改善PZT薄膜的结晶性能和压电性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王现英	上海理工大学材料科学与工程学院	22	61	5.0	7.0
2	祝元坤	上海理工大学材料科学与工程学院	9	14	2.0	3.0
3	郑学军	上海理工大学材料科学与工程学院	11	24	1.0	4.0
4	李磊	上海理工大学机械工程学院	18	56	4.0	7.0
5	姜涛	上海理工大学材料科学与工程学院	9	18	2.0	4.0
6	余远根	上海理工大学机械工程学院	2	0	0.0	0.0