基于光学理论的PERC太阳电池背面AlOx/SiNx叠层膜的研究

• 作者: 侯少攀 吕欣 孟庆平 崇锋 马少华
• 来源期刊: 太阳能
• 关键词: AlOx/SiNx叠层膜 PERC 反射率 光学矩阵
• 年，卷（期）: 2016,（12）
• 所属期刊栏目: 技术产品与工程
• 页码范围: 58-62
• 页数: 5页
• 字数: 1277字
• 语种: 中文

摘要

AlOx/SiNx叠层膜广泛应用于PERC(钝化发射极和背面局部接触)太阳电池中,以达到增强背反射和提高背表面钝化效果的作用.在先前的研究中,光学理论分析仅应用于正面单层SiNx或SiOx/SiNx双层膜厚度优化分析,极少应用于背面AlOx/SiNx双层膜优化分析.本文采用Matlab软件,基于光学导纳矩阵理论,同时将AM 1.5G标准太阳光谱,AlOx、SiNx、Al在整个光谱范围内(280 ～ 1200 nm)的折射率系数n(λ)考虑在内,系统分析了AlOx/SiNx双层膜的背反射效果.另外,依据背面AlOx/SiNx不同膜厚组合下透射光反射回硅片本体的反射率曲线分布和平均反射率作为评估指标进行理论分析,结果表明:AlOx/SiNx优化后最佳膜厚组合为15 nm/80 nm,为PERC太阳电池背面膜厚优化提供理论支持.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马少华		2	4	1.0	2.0
2	吕欣		5	7	2.0	2.0
3	崇锋		6	7	2.0	2.0
4	孟庆平		2	4	1.0	2.0
5	侯少攀		4	4	1.0	2.0