抗过载微陀螺结构的高灵敏设计与仿真

• 作者: 吴承根 李孟委 王宾 褚伟航
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统(MEMS)陀螺 结构设计 结构灵敏度 高过载
• 年，卷（期）: 2016,（5）
• 页码范围: 833-836
• 页数: 4页
• 分类号: TM153|TH703
• 字数: 2253字
• 语种: 中文

摘要

为解决高过载微陀螺难以实现高灵敏检测的问题,设计了一种高灵敏且高过载的微陀螺结构.设计的微陀螺结构驱动模态与检测模态的频率高度匹配,提高了微陀螺的结构灵敏度.该微陀螺采用面内检测方式,驱动与检测模态阻尼类型主要为滑膜阻尼,实现了在大气压环境下微陀螺的高品质因数Q值设计.微陀螺均采用双悬臂梁设计,增加了微陀螺结构的稳定性,进而提高了其抗过载能力.最后通过微陀螺的器件级仿真,得到了所设计陀螺结构在驱动方向过载能力约为100 000g(g=9.8 m/s2),检测方向过载能力约为70 000g的前提下,结构灵敏度为53 nm/[(°)/s].

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李孟委	中北大学电子测试技术国家重点实验室	30	75	5.0	7.0
10	褚伟航	中北大学电子测试技术国家重点实验室	3	10	2.0	3.0
19	王宾	中北大学电子测试技术国家重点实验室	2	4	1.0	2.0