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摘要:
磁控溅射以溅射温度低、沉积速率高的特点而被广泛应用于各种薄膜制造中,如单层或复合薄膜、磁性或超导薄膜以及有一定用途的功能性薄膜等,在科学领域以及工业生产中发挥着不可替代的作用.在介绍磁控溅射原理的基础上,阐述了靶材刻蚀机理,针对传统磁控溅射系统中靶材利用率低、刻蚀形貌不均匀等现状,从改善靶面磁场分布和模拟靶材刻蚀形貌两方面对国内外最新的研究进展进行总结与分析.研究表明,通过改变磁体的空间布置或增加导磁片能有效改善靶面磁场分布,采用适当的运动部件实现磁场和靶材的相对运动能有效扩展靶材的溅射面积,提高靶材利用率.在靶材刻蚀模拟中,通过改变溅射过程中的工艺条件(磁场强度、工作电压等)来研究靶面等离子特性,结果显示靶材刻蚀形貌会随着磁场强度的增加而变窄,靶材刻蚀速率会随工作电压的增大而增大等,这些研究成果对磁控溅射工艺参数的优化具有指导意义.最后,对靶材冷却系统的设计、靶材表面处理等对溅射过程的影响进行了简要展望.
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文献信息
篇名 国内外磁控溅射靶材的研究进展
来源期刊 表面技术 学科 工学
关键词 磁控溅射 靶材刻蚀 结构优化 计算机模拟 等离子体特性 靶材冷却
年,卷(期) 2016,(10) 所属期刊栏目 膜层材料与技术
研究方向 页码范围 56-63
页数 分类号 TG174.442
字数 语种 中文
DOI 10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2016.10.009
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 陈海峰 陕西科技大学机电工程学院 78 230 10.0 12.0
2 薛莹洁 陕西科技大学机电工程学院 5 22 2.0 4.0
传播情况
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引文网络
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研究主题发展历程
节点文献
磁控溅射
靶材刻蚀
结构优化
计算机模拟
等离子体特性
靶材冷却
研究起点
研究来源
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研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
表面技术
月刊
1001-3660
50-1083/TG
16开
重庆市2331信箱(重庆市九龙破区石桥铺渝州路33号)
78-31
1972
chi
出版文献量(篇)
5547
总下载数(次)
30
总被引数(次)
34163
论文1v1指导