溅射压强对W掺杂ZnO薄膜结构及光学性能的影响

• 作者: 徐承章 童帆 胡克艳 胡跃辉 范建彬 郭胜利 陈义川
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 溅射压强 ZnO薄膜 W掺杂 光致发光
• 年，卷（期）: 2016,（4）
• 页码范围: 1126-1130
• 页数: 5页
• 分类号: O484.1
• 字数: 2807字
• 语种: 中文

摘要

在不同溅射压强下,通过射频(RF)磁控溅射在石英玻璃衬底上沉积得到W掺杂ZnO薄膜(WZO).对样品的结晶性能,表面形貌和光学性能进行测试分析,结果表明:在适当溅射压强下,薄膜具有良好的结晶性和光学性能.随着溅射压强的增加,薄膜的结晶性先变好后变差,晶粒尺寸先增大后减小,在1.0 Pa时薄膜的结晶性最好,且晶粒尺寸最大,约为32 nm;所有WZO薄膜样品的平均透光率超过80％;光致发光主要由本征发光和缺陷引起的蓝光发光组成,在1.0Pa时薄膜还有明显的Zn;缺陷,在1.2Pa时薄膜有明显的Oi缺陷.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡跃辉	景德镇陶瓷学院机械电子工程学院	54	127	6.0	8.0
2	陈义川	景德镇陶瓷学院机械电子工程学院	38	96	6.0	7.0
3	徐承章	景德镇陶瓷学院机械电子工程学院	2	3	1.0	1.0
4	胡克艳	景德镇陶瓷学院机械电子工程学院	17	38	4.0	5.0
5	郭胜利	景德镇陶瓷学院机械电子工程学院	3	7	2.0	2.0
6	范建彬	景德镇陶瓷学院机械电子工程学院	4	4	2.0	2.0
7	童帆	景德镇陶瓷学院机械电子工程学院	5	3	1.0	1.0