篇名 | Origin of Initial Current Peak in High Power Impulse Magnetron Sputtering and Verification by Non-Sputtering Discharge | ||
来源期刊 | 中国物理快报(英文版) | 学科 | |
关键词 | @@ | ||
年,卷(期) | 2016,(7) | 所属期刊栏目 | |
研究方向 | 页码范围 | 110-112 | |
页数 | 3页 | 分类号 | |
字数 | 语种 | 中文 | |
DOI | 10.1088/0256-307X/33/7/075201 |