有滞留时间约束的单臂集束型装备调度研究

• 作者: 卢睿 李林瑛
• 来源期刊: 系统仿真学报
• 学科: 工学
• 关键词: 半导体制造 集束型装备 单臂机械手 可调度性分析
• 年，卷（期）: 2016,（8）
• 所属期刊栏目: 仿真建模理论与方法
• 页码范围: 1776-1782
• 分类号: TP241.2/278
• 语种: 中文

摘要

考虑有滞留时间约束的单臂集束型装备调度模型和可调度性问题,建立了包括单臂机械手和加工模块时序约束关系的混合整数规划模型,并从理论上证明了并行模块等价加工时间的合理性.在此模型基础上,分析了单臂机械手和加工模块的周期性加工和搬运晶圆过程,证明了集束型装备可调度性的条件.对模型和可调度性条件进行了仿真实验分析,结果表明模型有效且可行.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	卢睿	辽宁警察学院公安信息系	11	22	3.0	4.0
2	李林瑛	大连外国语大学软件学院	16	35	4.0	5.0