聚合物微结构超声压印精密加工系统研究

• 作者: 刘长军 夏旭峰 张亭 李锦
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: 超声压印 换能器 频率方程 有限元 柔性电子
• 年，卷（期）: 2016,（5）
• 页码范围: 824-828
• 页数: 5页
• 分类号: TN710|TM13|TH16|TB55
• 字数: 2979字
• 语种: 中文

摘要

超声压印技术是一种聚合物微结构成形的新方法.针对微米级超声加工系统的高精度和高可靠性的要求,设计了用于聚合物微结构超声压印的精密加工系统,推导了换能器动力学模型并求解特征参数,进行了有限元仿真与优化,并搭建了基于压力反馈的精密压印测控平台.实验结果与理论分析结果吻合,设计的换能器系统改善了微米级加工中的加工精度、能量控制和可靠性,为快速批量精密压印成形的加工系统提供了设计和优化方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘长军	华东理工大学机械与动力工程学院	46	265	10.0	14.0
2	李锦	华东理工大学机械与动力工程学院	3	9	1.0	3.0
3	夏旭峰	华东理工大学机械与动力工程学院	2	1	1.0	1.0
4	张亭	华东理工大学机械与动力工程学院	2	1	1.0	1.0