双压电结构乐甫波激发效率和液体传感的仿真

• 作者: 付俊 徐海林 陈智军 陈涛 韩超
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 乐甫波 双压电结构 MATLAB 机电耦合系数 介电常数 灵敏度
• 年，卷（期）: 2016,（9）
• 所属期刊栏目: 传感器研究
• 页码范围: 1345-1350
• 页数: 6页
• 分类号: TB95
• 字数: 4022字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2016.09.008

摘要

乐甫波器件适于液体检测，但在工程上经常因为激发效率较低而影响应用。与“压电基底-非压电薄膜”的单压电结构乐甫波器件相比，双压电结构的特点是薄膜也选用压电材料，以期增大器件整体的压电效应。在建立理论模型的基础上，通过空气中和液体检测时双压电结构乐甫波与声表面波、单压电结构乐甫波的机电耦合系数仿真并对比，表明对于某些压电基底和薄膜，双压电结构具有更高的乐甫波激发效率。并且，以液体介电常数检测为例，仿真结果还表明了双压电结构乐甫波比单压电结构具有更高的灵敏度。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈智军	南京航空航天大学自动化学院	42	179	7.0	11.0
2	徐海林		7	12	2.0	3.0
3	陈涛	南京航空航天大学自动化学院	29	133	6.0	10.0
4	付俊	南京航空航天大学自动化学院	8	19	3.0	3.0
5	韩超	南京航空航天大学自动化学院	8	26	3.0	4.0