含氧量和退火处理对CrAlSiN涂层机械性能的影响

• 作者: 唐鹏 王启民 耿东森 聂志伟 费加喜 高翔 黎海旭
• 来源期刊: 现代制造技术与装备
• 关键词: 氧含量 CrAlSiON 硬度 结合力
• 年，卷（期）: 2016,（3）
• 所属期刊栏目: 工艺与装备
• 页码范围: 69-71
• 页数: 3页
• 字数: 2422字
• 语种: 中文

摘要

基于氧含量对纳米复合结构CrAlSiN涂层性能的影响,采用电弧离子镀技术在3.0Pa气压下通入不同比例的氧氮气流沉积CrAlSiON涂层,并对涂层做不同温度的退火处理,对比涂层硬度和结合力的变化.800~950℃温度下退火后,可以释放涂层中的残余应力,提高涂层的硬度,且不影响涂层的结合力.但1100℃退火后,涂层的硬度降低明显,且通过划痕测试可以发现,涂层完全失效.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	唐鹏	广东工业大学机电工程学院	9	17	2.0	4.0
2	王启民	广东工业大学机电工程学院	25	153	6.0	11.0
3	高翔	广东工业大学机电工程学院	3	6	2.0	2.0
4	费加喜	广东工业大学机电工程学院	3	6	2.0	2.0
5	黎海旭	广东工业大学机电工程学院	4	11	2.0	3.0
6	聂志伟	广东工业大学机电工程学院	3	8	2.0	2.0
7	耿东森	广东工业大学机电工程学院	4	16	3.0	4.0