圆片级低真空封装的MEMS压电振动能量收集器结构设计

• 作者: 张颖异 温志渝 邓丽城
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 压电 振动能量收集器 低真空封装
• 年，卷（期）: 2016,（9）
• 所属期刊栏目: 传感器研究
• 页码范围: 1323-1327
• 页数: 5页
• 分类号: TP393
• 字数: 2792字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2016.09.004

摘要

MEMS低真空封装技术能为MEMS器件的可动部分提供低阻尼环境，降低能量损耗，有效提高器件的能量转换效率，具有重要的研究意义和应用前景，是MEMS技术的研究热点和难点。为了进一步提高MEMS压电振动能量收集器的输出性能，提出了圆片级低真空封装的共质量块MEMS压电悬臂梁阵列振动能量收集器新结构，通过有限元分析方法对器件结构参数进行了优化设计，在优化结构参数下仿真器件输出性能：在610 Hz、2 gn加速度下，器件的输出电压为8.88 V，输出功率为1220μW，能满足实际应用需求；根据器件结构设计了加工工艺流程，对低真空封装结构的实现和封装工艺探索具有重要意义。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	温志渝	重庆大学新型微纳器件与系统技术国防重点学科实验室	143	1259	18.0	26.0
5	张颖异	中国电子科技集团公司第四十四研究所	1	4	1.0	1.0
6	邓丽城	重庆大学新型微纳器件与系统技术国防重点学科实验室	2	4	1.0	2.0