光纤阵列组件超声椭圆振动辅助抛光系统设计

• 作者: 严日明 佘亦曦 刘德福 陈涛
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: 超声椭圆振动 超声换能器 光纤阵列组件 有限元分析(FEA) 阻抗测试
• 年，卷（期）: 2016,（5）
• 页码范围: 804-807
• 页数: 4页
• 分类号: TN384|TH16
• 字数: 2638字
• 语种: 中文

摘要

针对现有化学机械抛光工艺难以满足光纤阵列组件高质量的要求,该文根据压电陶瓷的逆压电效应及超声振动原理,提出了一种夹心式模式转换型超声椭圆振动装置,用以提高光纤阵列组件端面的抛光质量.设计了用于光纤阵列组件超声椭圆振动辅助化学机械抛光的超声振动系统,并对所设计的系统进行了有限元分析和测试试验.试验结果表明,超声振动系统共振频率测试结果与设计结果误差小于5％,超声椭圆振动双向振幅分别为4 μm和2μm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘德福	中南大学机电工程学院	29	274	10.0	16.0
3	陈涛	中南大学机电工程学院	42	215	9.0	13.0
6	佘亦曦	中南大学机电工程学院	4	22	2.0	4.0
7	严日明	中南大学机电工程学院	4	16	2.0	4.0