SOI宽温区微型智能压力传感器的设计与实现

• 作者: 李静文 赵建立 高峰
• 来源期刊: 自动化与仪表
• 关键词: 硅氧化物绝缘体 宽温区 压力传感器 工艺研究 结构性能
• 年，卷（期）: 2016,（12）
• 所属期刊栏目: 仪器仪表装置
• 页码范围: 18-22
• 页数: 5页
• 分类号: TP212
• 语种: 中文

摘要

该文首先介绍了SOI压阻式压力传感器的基本原理;其次,通过敏感芯片制备工艺、芯体的封装工艺、智能化温度补偿技术等方面的研究,设计了基于MEMS的SOI宽温区微型智能压力传感器的工艺技术;第三,详细介绍南京盛业达公司研制SOI宽温区微型智能压力传感器的结构和性能.结果表明,该产品具有宽温度工作范围、精度高、稳定性好、结构紧凑、外形美观等优良特性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高峰		1	1	1.0	1.0
2	赵建立		1	1	1.0	1.0
3	李静文		1	1	1.0	1.0