LEC法GaSb晶体生长数值模拟研究

• 作者: 于凯 张颖武 李璐杰 程红娟
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: 液封直拉法(LEC) 固-液界面 强制对流 液封剂 放肩角度 隔热屏 坩埚位置
• 年，卷（期）: 2016,（5）
• 页码范围: 799-803
• 页数: 5页
• 分类号: O782|TN304.053
• 字数: 2989字
• 语种: 中文

摘要

采用有限元模拟软件对液封直拉(LEC)法生长锑化镓晶体过程进行计算机建模.模拟分析了晶体旋转、坩埚旋转及隔热屏等因素对GaSb固-液界面形貌的影响.结果表明,晶体旋转与坩埚旋转分别具有促使凸向熔体的固-液界面曲率减小及增大的作用,且同等转速条件下,坩埚旋转对固-液界面形貌影响更大.此外,减小放肩角度、去除炉体上部的隔热屏等措施,均具有使凸向熔体的固-液界面曲率降低的作用.而使用液封剂使凸向熔体的固-液界面曲率增大.坩埚在加热器中存在某一位置,使熔体内部轴向梯度最大.炉膛内氩气流速最剧烈部位为保温罩与拉晶杆间的区域,Ar气对流导致上炉膛温度提高,并降低熔体表面温度约8℃.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李璐杰	中国电子科技集团公司第四十六研究所	5	4	2.0	2.0
2	程红娟	中国电子科技集团公司第四十六研究所	44	47	4.0	5.0
3	张颖武	中国电子科技集团公司第四十六研究所	14	16	2.0	3.0
4	于凯	中国电子科技集团公司第四十六研究所	4	4	2.0	2.0