新型SnO2微气敏传感器的设计

• 作者: 何越 刘丽 刘丽丽 李海英 王连元
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微气敏传感器 二氧化锡 ANSYS 温度分布 磁场分布
• 年，卷（期）: 2016,（1）
• 所属期刊栏目: 电子器件
• 页码范围: 6-9
• 分类号: TP212.2
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2016.01.02

摘要

设计了一种新型微气敏传感器的结构,采用SnO2作为敏感材料,并利用ANSYS软件仿真分析,优化了该传感器的某些结构参数.结果得出:传感器基底结构中从上往下SiO2-Si-SiO2三层材料的厚度依次为10,120,170μm,加热电极和测量电极宽度为10,30 μm时,微传感器Sn2O材料区域的温度为高温态且分布均匀,并且此结构的传感器中心材料区域的磁场强度为最小值9.84×10-10 A/M,与最大值383.066 A/M相比可忽略不计.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘丽丽	超硬材料国家重点实验室吉林大学物理学院	2	3	1.0	1.0
2	刘丽	超硬材料国家重点实验室吉林大学物理学院	4	5	2.0	2.0
3	李海英	超硬材料国家重点实验室吉林大学物理学院	1	0	0.0	0.0
4	王连元	超硬材料国家重点实验室吉林大学物理学院	4	5	2.0	2.0
5	何越	超硬材料国家重点实验室吉林大学物理学院	4	5	2.0	2.0