MEMS谐振器中高增益跨阻放大器设计

• 作者: 姜宇 来强涛 谢勇 郭桂良 阎跃鹏 陈华
• 来源期刊: 微电子学与计算机
• 关键词: 微机械圆盘谐振器 电流预放大 Cherry-Hooper放大器
• 年，卷（期）: 2016,（3）
• 页码范围: 46-49,55
• 分类号: TN432
• 语种: 中文

摘要

微机械(MEMS)圆盘谐振器的振荡器具有相位噪声低,抖动小,温漂小等特点.采用TSMC 0.18 μm CMOS工艺设计实现了一款用于驱动MEMS圆盘谐振器的高增益、低噪声和低功耗跨阻放大器.该放大器采用低功耗宽带电流预放大和电流电压转换级输入技术,结合基于Cherry-Hooper反相器电压放大的电路结构,实现了增益、带宽、噪声、低电源电压和动态范围等指标间的折衷,成功驱动了MEMS圆盘谐振器.Spectre仿真表明,单端跨阻增益高达115 dBΩ,-3 dB带宽超过500 MHz,等效输入噪声电流平均值为25 pA/√Hz,功耗仅为17.6 mW,芯片面积(包括所有PAD)为620μm×620 μm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谢勇	中国科学院微电子技术研究所	21	63	4.0	6.0
2	陈华	中国科学院微电子技术研究所	65	683	13.0	24.0
3	阎跃鹏	中国科学院微电子技术研究所	101	427	9.0	13.0
4	郭桂良	中国科学院微电子技术研究所	37	106	6.0	7.0
5	姜宇	中国科学院微电子技术研究所	9	77	4.0	8.0
6	来强涛	中国科学院微电子技术研究所	9	27	4.0	4.0