偏压对磁控溅射氮铝铬薄膜摩擦性能的影响

• 作者: 张宝红 沈渊
• 来源期刊: 河北农机
• 关键词: 磁控溅射 氮铝铬薄膜 摩擦性能
• 年，卷（期）: 2016,（2）
• 所属期刊栏目: 交流
• 页码范围: 57-58
• 页数: 2页
• 字数: 1127字
• 语种: 中文

摘要

本文采用了反应磁控溅射法在烧结NdFeB表面连续地沉积了氮铝铬薄膜.使用扫描电镜表征了薄膜的形貌.摩擦磨损性能在室温下采用多功能摩擦磨损试验机Rtec(MFT 5000)来表征.研究结果表明基底施加合适的负偏压会使薄膜致密、摩擦系数降低.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	沈渊	山西中北大学材料科学工程学院	2	2	1.0	1.0
2	张宝红	山西中北大学材料科学工程学院	2	2	1.0	1.0