面向半导体制造的大数据分析平台

• 作者: 康盛 张启华 张洁 杨俊刚 秦威
• 来源期刊: 计算机集成制造系统
• 学科: 工学
• 关键词: 大数据 制造过程数据 半导体制造 分布式处理 Hadoop
• 年，卷（期）: 2016,（12）
• 所属期刊栏目: 制造服务技术
• 页码范围: 2900-2910
• 页数: 11页
• 分类号: TP319
• 字数: 8863字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13196/j.cims.2016.12.018

摘要

为充分利用半导体制造过程产生的大量数据,发掘数据中蕴含的价值,对半导体制造过程进行分析、预测和调控,建立了半导体制造大数据分析平台.归纳得出了半导体制造过程中大数据的特性,提出了半导体制造大数据分析体系架构,分析了其关键技术和实现方法.根据半导体制造过程中大数据的使用特点,将数据导入、去重、筛选、标准化等共性操作归入平台通用预处理层;预处理后的数据进入数据仓库层,在数据仓库中按主题进行组织;最上方的专用处理算法层根据上层应用的特定数据要求,从数据仓库中抽取数据,使用专用算法进行处理,为其提供标准化、可靠、可复用的数据资源.最后基于半导体制造企业的实际情况搭建了原型系统,对半导体制造过程产生的大量实际数据进行导入、存储、组织和预处理,并进行了性能测试和常用统计分析算法测试.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张洁	上海交通大学机械与动力工程学院	187	1538	20.0	32.0
2	张启华		8	17	2.0	4.0
3	秦威	上海交通大学机械与动力工程学院	12	164	6.0	12.0
4	杨俊刚	上海交通大学机械与动力工程学院	2	12	1.0	2.0
5	康盛		1	11	1.0	1.0