双面光学共焦技术的透镜中心厚度测量设计

• 作者: 姚红兵 李丽淋 杨风潇 陈明明
• 来源期刊: 激光技术
• 学科: 工学
• 关键词: 测量与计量 非接触测量 双面光学共焦测量 透镜中心厚度
• 年，卷（期）: 2016,（6）
• 所属期刊栏目: 激光与光电子技术应用
• 页码范围: 912-915
• 页数: 4页
• 分类号: TH741
• 字数: 2505字
• 语种: 中文
• DOI: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2016.06.028

摘要

基于共焦法测量透镜中心厚度的装置中,需要光进入透镜内部发生折射和反射,但这会影响测量精度。为了解决这一问题,在共焦法原理的基础上,采用双面光学共焦的测量方法,设计了一套透镜中心厚度的测量装置,并进行了理论分析、误差分析和试验验证。结果表明,该装置测量范围能达到30mm,测量精度为2μm。该装置实现了对透镜中心厚度的高速非接触测量,完全能达到实际测量的需要。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	姚红兵	江苏大学机械工程学院	44	139	7.0	10.0
2	杨风潇	江苏大学机械工程学院	2	6	2.0	2.0
3	李丽淋	江苏大学机械工程学院	1	2	1.0	1.0
4	陈明明	江苏大学机械工程学院	2	4	2.0	2.0