石墨平台微结构的纳米级红外光谱表征

• 作者: 刘秉琦 史云胜 杨兴
• 来源期刊: 红外技术
• 学科: 化学
• 关键词: 微机电器件 红外光谱 纳米级 石墨微结构
• 年，卷（期）: 2016,（11）
• 所属期刊栏目: 材料与器件
• 页码范围: 914-919
• 页数: 6页
• 分类号: O657.3
• 字数: 2424字
• 语种: 中文

摘要

具有原子级光滑平面的石墨平台微结构是实现特殊功能微机电器件、微系统的重要基础.石墨微结构的化学信息表征对微机电器件、微系统的制备及性能有着重要的意义.先使用原子力显微镜获得形貌信息,再使用纳米级红外光谱对微结构的不同区域进行表征,获得了多个特征位置的红外光谱.通过对红外光谱的分析发现相对于其他位置,石墨平台表面具有非常有序的碳六元环结构,并且吸附的水分子最少.而石墨平台微结构的边缘由于悬键及微加工等原因是吸附水分子最多的位置,石墨基底由于微加工的破坏已经不具有碳六元环结构.这些信息为了解微结构的化学状态提供了帮助,明确所处环境对石墨平台微结构不同位置的影响,能够指导微机电器件的制备与应用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘秉琦	军械工程学院电子与光学工程系	106	576	12.0	17.0
2	史云胜	军械工程学院电子与光学工程系	9	22	3.0	4.0
6	杨兴	清华大学精密仪器系	15	120	3.0	10.0