极板类型及极性对容性耦合等离子体均匀性的影响

• 作者: 詹泽红 赵建钢 郭颖
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 朗缪尔双探针 圆孔刻槽极板 极性电极 等离子体均匀性 点亮问题
• 年，卷（期）: 2016,（8）
• 所属期刊栏目: 等离子技术
• 页码范围: 898-905
• 分类号: O531
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2016.08.09

摘要

使用朗缪尔双探针诊断方法,研究了圆孔刻槽极板和极性电极(相位差△φ=00和Δφ=180°)在不同条件下对13.56 MHz容性耦合等离子体均匀性的影响.同时提到了点亮问题对等离子体分布的影响.实验结果表明:圆孔刻槽极板和极性电极均可避免点亮问题,提高等离子的均匀性.圆孔刻槽极板将电子密度的均匀性由85.6％提高到93.7％(功率为50W),由63.6％提高到84.6％(功率为300 W);反相位极性电极的电子密度的均匀性可达到90％以上(功率为50 W)和80％以上(功率为300 W).

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭颖	东华大学理学院东华大学理学院与诺信有限公司联合实验室	31	98	5.0	8.0
2	詹泽红	东华大学理学院东华大学理学院与诺信有限公司联合实验室	1	1	1.0	1.0