测量系统分析在集成电路测试中的应用

• 作者: 傅铮翔 王菲
• 来源期刊: 电子质量
• 关键词: 测量系统分析(MSA) 集成电路(IC)测试 重复性 再现性
• 年，卷（期）: 2016,（9）
• 页码范围: 30-35,38
• 页数: 7页
• 分类号: TN407
• 语种: 中文

摘要

测量系统分析(MSA)是六西格玛管理的一项重要内容。在产品的质量管控中，高质量的测量数据，对产品的分析及改进有很大的帮助。在集成电路(IC)测试中，为了确保测试的准确性，获得高质量的测试数据，就需要对的测试系统进行充分的分析。该文介绍了测量系统分析方法，着重介绍重复性和再现性研究、分析，并通过实例说明IC测试中的测量系统分析的应用。并根据测量系统能力的评价规则对所分析的测试系统能力进行评价，判断测量系统是否满足IC测试要求。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王菲	中国电子科技集团公司第五十八研究所	5	4	2.0	2.0
2	傅铮翔	中国电子科技集团公司第五十八研究所	3	2	1.0	1.0