衬底温度对蒸汽辅助沉积法制备钙钛矿薄膜微观结构的影响

• 作者: 刘华秋 刘星 季庚午 文闻 朱大明 杨迎国 高兴宇
• 来源期刊: 核技术
• 学科: 工学
• 关键词: 同步辐射掠入射X射线衍射 钙钛矿薄膜 改良的蒸汽辅助沉积法 衬底温度
• 年，卷（期）: 2016,（6）
• 所属期刊栏目: 同步辐射技术及应用
• 页码范围: 060104-1-060104-7
• 页数: 1页
• 分类号: TL99
• 字数: 4246字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11889/j.0253-3219.2016.hjs.39.060104

摘要

通过调控薄膜生长衬底温度，提出了一种改良的蒸汽辅助沉积法制备有机-无机混合钙钛矿薄膜，可以更为可控优化薄膜生长条件。用同步辐射掠入射X射线衍射(Grazing Incidence X-ray Diffraction, GIXRD)结合扫描电镜(Scanning Electron Microscope, SEM)、紫外可见吸收谱(UV-Visible Absorption Spectrum)等表征方法证明衬底温度对制备的钙钛矿薄膜质量具有重要的作用：较低的衬底温度(约70°C)有助于钙钛矿晶粒的形成，其结晶性、晶面择优生长取向均较好，同时具有较高的光吸收性能；当衬底温度升高时(100°C、125°C)，所制备的钙钛矿薄膜结晶性变弱，晶体择优生长取向明显变差，光吸收性能随之下降。研究结果有助于进一步优化蒸汽辅助沉积法制备钙钛矿薄膜工艺。