篇名 | High-performance germanium n+/p junction by nickel-induced dopant activation of implanted phosphorus at low temperature | ||
来源期刊 | 中国物理B(英文版) | 学科 | |
关键词 | germanium metal-induced dopant activation NiGe n+/P junction | ||
年,卷(期) | 2016,(5) | 所属期刊栏目 | |
研究方向 | 页码范围 | 312-315 | |
页数 | 4页 | 分类号 | |
字数 | 语种 | 中文 | |
DOI | 10.1088/1674-1056/25/5/057304 |