振动环境下MEMS加速度计的可靠性评估

• 作者: 于丽霞 何蕴泽 刘俊 王孟美 秦丽
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS加速度计 加速寿命试验 加速性能退化试验 可靠性评估
• 年，卷（期）: 2016,（5）
• 所属期刊栏目: 传感器研究
• 页码范围: 670-674
• 页数: 5页
• 分类号: TP212.1
• 字数: 2246字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2016.05.008

摘要

在MEMS加速度计加速寿命试验及加速性能退化试验研究的基础上,对MEMS加速度计在振动环境下的可靠性技术进行了研究.通过理论分析MEMS加速度计在振动环境下的失效模式和失效机理,结合具体的试验条件设计了加速度计加速寿命试验及加速性能退化试验方案,并对MEMS加速度计在振动环境下的失效数据分别进行了加速寿命可靠性评估及加速性能退化可靠性评估.研究表明,两种评估方法得到的评估结果基本一致;加速性能退化评估方法适用于MEMS加速度计在振动环境中的可靠性研究,且该方法简捷、正确可行、节省试验费用,为MEMS加速度计在实际应用中提供了重要的参考依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	秦丽	中北大学电子测试技术重点实验室	81	421	11.0	15.0
2	于丽霞	中北大学信息与通信工程学院	24	206	6.0	14.0
3	刘俊	中北大学电子测试技术重点实验室	181	1162	17.0	24.0
4	王孟美	中北大学电子测试技术重点实验室	4	28	3.0	4.0
5	何蕴泽	中北大学信息与通信工程学院	2	9	2.0	2.0