衬底材料对Ba0.6Sr0.4TiO3薄膜介电性能的影响

• 作者: 代秀红 刘保亭 娄建忠 宋安英 宋建民 方晓燕 李振娜
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 脉冲激光沉积 Ba0.6Sr0.4TiO3薄膜 外延 介电性能
• 年，卷（期）: 2016,（4）
• 页码范围: 951-955
• 页数: 5页
• 分类号: TB303
• 字数: 2340字
• 语种: 中文

摘要

采用脉冲激光沉积系统分别在LaAlO3(001)和MgO(001)衬底上沉积了Ba06Sr04TiO3(BST)薄膜,以Pt做电极分别构架了Pt/BST/MgO和Pt/BST/LaAlO3叉指电容器.利用X射线衍射仪、原子力显微镜和Aglient E4980LCR表分别对两种薄膜的结构、表面形貌和介电特性进行表征.研究发现:两种衬底都可以实现BST(001)薄膜的外延生长,MgO和LaAlO3衬底上BST薄膜的晶粒尺寸分别为52 nm和42 nm.在室温40 V偏置电压下,Pt/BST/MgO和Pt/BST/LaAlO3的调谐率分别为39.68％和29.55％,最低损耗分别为0.029和0.053.这说明衬底材料的晶格常数不同,最终导致了BST薄膜介电性能的不同.