俄罗斯科学家打造金刚石MEMS谐振器

• 来源期刊: 磨料磨具通讯
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS谐振器 俄罗斯科学家 金刚石 物理技术 研究人员 研究所 莫斯科 传感器
• 年，卷（期）: 2016,（6）
• 页码范围: 33-33
• 页数: 1页
• 分类号: TP274

摘要

根据莫斯科物理技术研究所（MOSCOW Institute of Physics and Technology，M1PTl的研究人员发现一种较硅晶压电更快的“声波”谐振器，已经成功地模拟超灵敏的传感器，突破微波领域的新纪录。