单晶硅表面金字塔微结构反射特性的研究

• 作者: 杨雁南 蒋孝鑫 韩明珠 黄鑫
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 物理学
• 关键词: 衍射 抗反射 时域有限差分法 金字塔 单晶硅
• 年，卷（期）: 2016,（6）
• 所属期刊栏目: 材料、结构及工艺
• 页码范围: 800-804
• 分类号: O436
• 语种: 中文
• DOI: 10.16818/j.issn1001-5868.2016.06.009

摘要

通过对化学腐蚀法制备的单晶硅表面微结构进行分析,建立了一种金字塔微结构的数学模型,采用时域有限差分法(FDTD)数值计算了波长在300～1 000 nm范围内微结构表面反射率随波长的变化规律,并将计算结果与实验测量结果进行了比较、分析和解释.在此基础上,针对不同实验条件下所形成的金字塔微结构差异,数值计算了几种不同参数金字塔结构表面的反射率随波长的变化规律.研究表明,反射率随金字塔的占空比和倾角的增大而减小,而金字塔尺寸变化对反射率的影响较小.当金字塔的结构参数为底边长2 μm、占空比1、倾角约60°时减反效果较好,平均反射率仅为6.28％.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨雁南	南京航空航天大学理学院	34	133	6.0	9.0
2	黄鑫	南京航空航天大学理学院	11	101	5.0	10.0
3	蒋孝鑫	南京航空航天大学理学院	2	5	2.0	2.0
4	韩明珠	南京航空航天大学理学院	4	7	2.0	2.0